芯片车间洁净度要求

芯片车间洁净度要求

芯片车间万级无尘车间的洁净度等级要求高,尤其对静电要求极其严格。

2020-03-19 04:27:24

详细介绍

       近十多年来科学技术日新月异,对于新产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,同时对无尘净化技术的设计和发展提出了更高的要求。万级无尘车间在半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造等行业非常多见。电子制造业洁净厂房的设计是一项综合的技术,只有充分了解电子制造业洁净厂房的设计特点,做到设计合理,才能让电子制造产业的产品次品率降低,提高生产效率。
       电子制造业万级无尘车间的洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂房的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。 这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。下面由青岛鑫大唐净化净化为大家介绍一下:

1、万级电子无尘车间参数要求换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次;100≥500次;

2、压差:主车间对相邻房间≥5Pa;

3、平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;

4、温度:冬季>16℃;夏季<26℃;波动±2℃;

5、湿度:45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。

6、噪声:≤65dB(A);

7、照度:300LX;

8、新风补充量是总送风量的10%-30%。

    万级净化主要靠洁净的气流不断稀释室内的空气,将室内的污染逐渐排出,来实现洁净效果。室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动,拌有回流或涡流,不同等级的净化车间,主要是依靠单位时间内所送风量的不同来实现。